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顯微鏡
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上海光學(xué)儀器廠

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  • 產(chǎn)品概述
  • 性能特點(diǎn)
  • 技術(shù)參數(shù)

863XB-彩

SG-863XB晶圓檢測顯微鏡(研究級)

一、產(chǎn)品用途

   SG-863XB正置檢測顯微鏡廣泛的應(yīng)用于透明,半透明或不透明物質(zhì),比如金屬陶瓷、電子芯片、印刷電路、LCD基板、薄膜、纖維、顆粒狀物體、鍍層等材料表面的結(jié)構(gòu)、痕跡,都能有很好的成像效果。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。

2. 拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù),無限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。

3. 采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。

4. WF10×/Φ25mm超大視野目鏡,長工作距離明暗場金相物鏡。

三、技術(shù)規(guī)格

1. 光學(xué)系統(tǒng):無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)

2. 觀察頭:30°鉸鏈?zhǔn)饺?,瞳?0mm-75mm

3. 平場目鏡:WF10×/25mm

4. 平場無限遠(yuǎn)長工作距離金相物鏡

放大倍數(shù)

數(shù)值孔徑N.A

工作距離(mm)

PL L5×

0.10

29.4

PL L10×

0.25

16.0

PL L20×

0.40

10.6

PL L50×

0.55

5.10

PL L100×(干)

0.80

3.00

5. 轉(zhuǎn)換器:內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器

6. 工作臺尺寸:352mm×310mm,移動范圍:250mm×250mm 

7. 調(diào)焦機(jī)構(gòu):粗微動同軸,范圍36mm,微動0.002mm 

8. 光源:垂直照明,帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素?zé)?2V100W,AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié)

          透射光,12V100W鹵素?zé)粽彰鳎炼瓤烧{(diào)

9. 偏光裝置:檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路

10. 適配鏡:直徑59mm,放大倍率0.5倍  ,內(nèi)調(diào)焦距0~3mm  調(diào)焦后可鎖緊

11. 顯微鏡工業(yè)相機(jī):圖像采用Sony COMS傳感器,像素630萬;芯片靶面:1/1.8";像素:2.4x2.4(μm);圖像采集速度:15@3072x2048,26@1536x1024;G光靈敏度:0.15mv-425mv;曝光時間: 0.244ms-2s;光譜響應(yīng)范圍:380-650nm(有紅外截止濾光片情況下);掃描方式:逐行掃描;快門:電子快門;數(shù)據(jù)接口:USB3.0;白平衡:ROI 白平衡/手動調(diào)整.

12. 軟件功能:圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能,可以對所攝圖像進(jìn)行文字編輯,比例尺顯示;超景深擴(kuò)展;長度,角度,弧長測量;點(diǎn),線,平行線,垂直測量;圓、橢圓測量;矩形,不規(guī)則形狀的周長、面積、重心位置等幾何參數(shù)量。

四、標(biāo)準(zhǔn)配置

1. 檢測顯微鏡/1臺    

2. 觀察/1只(在主機(jī)上)

3. 10×目鏡/1對(在主機(jī)上)   

4. 無限遠(yuǎn)長工作距離物鏡5×、10×、20×、50×、100×/1只(在主機(jī)上)   

5. 0.5×專用適配鏡/1

6. YH-630顯微鏡工業(yè)相機(jī)/1只(630萬)

7. 0.01mm校準(zhǔn)尺/1

8. 移動工作臺/1只(在主機(jī)上)

9. 12V100W鹵素?zé)?/span>/2

10. 插板式濾色片(綠、蘭、中性)/1

11. 產(chǎn)品合格證、保修卡及說明書/1


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