測(cè)量桿徑向間隙引入誤差
生產(chǎn)單位把測(cè)量桿軸套配合間隙控制在2微米以內(nèi),因
間隙能使測(cè)量桿傾斜B角值,由此造成的軸向位移誤差是二
次小量(即圖2-30中,ΔS-0) , 可以不計(jì),但傾斜使臂長(zhǎng)a
增加了Δa, 它對(duì)分劃板上象的位移是極敏感的。
如圖2-30所示,測(cè)量桿上升S距離后,反射鏡P應(yīng)轉(zhuǎn)
動(dòng)a角,但由于桿的傾斜,軸端上面鋼球與反射鏡背面的接
觸點(diǎn),從O點(diǎn)移動(dòng)到O'點(diǎn),使斜角a變成a', 臂長(zhǎng)增加了
在圖2-30中可看到,軸套間隙能使測(cè)量桿向左傾斜,也
能使它向右傾斜,Aa 既能增加臂長(zhǎng),又可能縮短臂長(zhǎng)。所以
影響量值的有正負(fù)二個(gè)方向。
若測(cè)量所使用的示值范圍在0. 1毫米以內(nèi),一般采用標(biāo)
準(zhǔn)件“對(duì)零”, 使反射鏡處于如圖2-31 上的M位置,與測(cè)量桿
軸線垂直,因此,測(cè)量桿軸線的傾斜對(duì)反射鏡在零位的基準(zhǔn)
位置影響極小。在工件測(cè)量時(shí),測(cè)量桿移動(dòng)了距離S, 因左
右傾斜產(chǎn)生了Aa 的變化,而造成了上述的誤差,較大為
士0.03 微米。
若簡(jiǎn)量房使用的示值要求在0. 1~0, 2毫來(lái)范圍以內(nèi)
方向的增加成減中,標(biāo)準(zhǔn)件的基準(zhǔn)位置只能兩節(jié)在標(biāo)尺示負(fù)
的一間,反財(cái)鏡起始點(diǎn)處于上竭或下端的傾斜位
置,如圖231房示,這樣,在基準(zhǔn)位置上也引入
M 丁±0. 03微米的誤差,故此項(xiàng)較大誤差為:8, ”
±0. 06 微米。從圖上還可以看出,在基準(zhǔn)位置的測(cè)
量桿傾斜方向與在測(cè)量位置的測(cè)量桿傾斜方向相同
時(shí),所造成的誤差較大。